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    關于無塵廠房中的氣流速度規定

           無塵廠房是指控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。
           氣流速度是指無塵廠房內的氣流速度,由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這個概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;
           (1)送風口出口氣流速度不宜太大,較于單純空調房間,要求速度衰減越快,擴散角度越大。
           (2)吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大于0.2m/s。
           對于平行流無塵廠房內,由于主要靠氣流的活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是很重要的指標。

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